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圍繞芯片製造要用到的關鍵設備——光刻機,一直不缺話題。

比如,一臺EUV光刻機賣多少錢?誰買走了這些EUV光刻機?大陸廠商還能買到光刻機嗎?爲何三星高管最近跑去荷蘭拜訪ASML總部?

上面這幾個問題,其實可以在ASML和臺積電最新發布的三季報及業績說明會中找到部分答案。兩家公司的地位無需多言,前者是全球頂級光刻機龍頭,後者是全球芯片製造龍頭。

一臺售價近12億元

關於售價,ASML總裁兼首席執行官Peter Wennink10月14日介紹公司三季度業績情況時間接給出了答案。他表示,“我們第三季度的新增訂單達到29億歐元,其中5.95億歐元來自4臺EUV設備。”簡單換算一下,一臺EUV光刻機的售價爲1.48億歐元,摺合人民幣高達11.74億元。


這是什麼概念?2019年,A股還有1462家上市公司的營業收入低於11.74億元。換句話說,ASML每年賣一臺EUV光刻機,收入就可完勝A股的1/3公司。

售價這麼高,ASML根本不愁買家,公司愁的是產能跟不上需求。

ASML的EUV光刻機是目前全球唯一可以滿足22nm以下製程芯片生產的設備,其中10nm及以下的芯片製造,EUV光刻機必不可缺。

據瞭解,EUV光刻機不需要多重曝光,一次就能曝出想要的精細圖形,沒有超純水和晶圓接觸,在產品生產週期、光學鄰近效應矯正的複雜程度、工藝控制、良率等方面都有明顯優勢。

ASML的EUV光刻機也在推陳出新。公司10月14日還公佈了EUV路線圖上的新機型TWINSCANNXE:3600D的最終規格,曝光速度達到每小時曝光160片晶圓,提高了18%的生產效率,計劃於2021年的中期開始發貨。

ASML三季度淨銷售額爲40億歐元,預計四季度的銷售額將在36億歐元到38億歐元之間,毛利率約50%。“2021年,由於宏觀環境的不確定因素,包括疫情給經濟帶來的影響,以及地緣政治的變化,我們預期業績增長將是低雙位數。儘管如此,終端市場驅動因素的變化(比如5G、人工智能和高性能計算),將推動先進製程的邏輯芯片和存儲芯片的市場需求,這都需要使用到先進的光刻機。” Peter Wennink說。

芯片大廠爭購

ASML的EUV光刻機在2016年正式上市,主要供應給英特爾、臺積電和三星這三家大客戶。其EUV光刻機出貨量一直在增加,從2016年的5臺上升到2019年的26臺。

目前,臺積電已將可量產的工藝推到5nm,大幅領先英特爾和三星;同時,按照計劃,公司3nm工藝將在明年試產,2022年下半年正式量產。重要的是,客戶對其7nm工藝和5nm工藝的需求十分強勁,這兩項工藝的收入佔比在三季度已達43%。因此,臺積電對EUV光刻機的需求無疑也是最強勁的。


近期有媒體報道,由於先進工藝推進順利和訂單擴大,臺積電將加大EUV光刻機的採購力度,預計到2021年底採購量至55臺左右。臺積電方面回覆中國證券報記者採訪時表示,公司不評論市場傳聞。前述媒體援引半導體供應鏈消息稱,臺積電採購的EUV光刻機已經超過30臺,三星累計採購的EUV光刻機不到20臺。

值得注意的是,ASML的財報顯示,三季度來自中國臺灣地區貢獻的收入佔比爲47%,環比提高了26個百分點。業界認爲,這主要是由臺積電採購EUV光刻機帶來。

與此同時,ASML來自韓國的收入佔比出現下降,從二季度的38%下降到三季度的26%。有報道稱,三星電子副董事長李在鎔近日飛赴ASML荷蘭總部會晤,雙方探討的核心是EUV光刻機的供應和裝配(5nm),同時就面向AI等領域的下一代光刻機研發合作交換了意見。

當然,ASML光刻機的買家還有大陸廠商,但購買EUV光刻機存在阻力,而購買DUV光刻機無礙。Peter Wennink表示,“根據當前法規,ASML無需獲得美國出口許可證便可以繼續從荷蘭向中國客戶出貨DUV光刻系統;對於直接從美國發貨系統或零件到受法規影響的客戶,ASML需獲得許可證。”

EUV光刻機和DUV光刻機有什麼不同?

根據曝光源的不同,光刻機分爲EUV型(極深紫外線)、DUV型(深紫外線)。從製程範圍來看,DUV基本上只能做到25nm,而EUV能滿足10nm以下的晶圓製造需求。

編輯:徐效鴻



原文連結:https://inewsdb.com/數碼/頂級光刻機售價近12億元!中國企業能隨便買的

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