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集微網消息,近日,路維光電在接受機構調研時表示,掩膜版的主要原材料是掩膜基板、光學膜等,目前國內供應商已經能夠供應部分種類的基板,但高世代石英基板及光學膜的供應商集中於日本、韓國,國內暫無國產化能力。

公司積極探索掩膜版上游材料領域,對光阻材料特性進行深入研究,分別於2016年、2018年自主開發了中小尺寸和大尺寸掩膜版光阻塗布技術,實現了國內掩膜版行業在高精度、大尺寸光阻塗布技術上零的突破及對產業鏈上游技術的成功延伸。公司將以光阻塗布技術為突破點,持續向上遊原材料技術延伸。

隨著下游產品的技術發展,平板顯示掩膜版主要演進方向包括大尺寸化、高精細化等,從產品尺寸看,平板顯示產品歷經二十年換代時間(從G1到G11),G11是目前全球最高世代。G11掩膜版由於基板面積更大,因此圖形精度及均勻性、位置精度、缺陷控制、Mura控制等環節技術難度更高。公司G11 掩膜版產品相關技術指標已達到國際先進水平,CD精度可控制在±0.1µm以內,總長及位置精度可控制在±0.5µm以內。

隨著公司技術進步,在半導體芯片製造、封裝等領域與核心客戶合作日益緊密,公司在產業鏈中的市場地位和定價能力有所提升;此外,產品定製化要求越高、精度越高,單價和毛利率水平越高,2019-2021年,公司較高精度半導體掩膜版銷售佔比穩步提高,高精度掩膜版銷售的增加進一步優化了半導體類產品結構,帶動了半導體掩膜版盈利水平持續提升。

路維光電稱,半導體掩膜版按具體應用領域分類為IC封裝、IC器件、LED外延片、MEMS等。在前述領域,公司已與國內某些領先芯片公司及其配套供應商士蘭微、晶方科技、華天科技、通富微電、三安光電、光迅科技等國內知名的下游半導體公司建立了長期、穩定的業務合作關係。

據悉。路維光電主要客戶有京東方、華星光電、天馬、信利等。

公司生產掩膜版所需的主要原材料為掩膜版基板、光學膜,目前掩膜基板中中大型尺寸石英基板尚依賴進口,其中,高世代石英基板及光學膜的供應商集中於日本、韓國,目前國內暫無供應商可提供替代品。

路維光電稱,公司堅持“以屏帶芯”發展戰略,半導體掩膜版是公司業務的主要發展方向之一。目前公司已實現250nm製程節點半導體掩膜版的量產,掌握180nm/150nm製程節點半導體掩膜版製造核心技術能力。公司募投項目會進一步將半導體掩膜版量產能力提升至130nm製程節點,並立足於自主研發、突破半導體掩膜版製造中的精度控制、缺陷控制等關鍵技術,將掌握的半導體掩膜版製作技術進一步推進至110nm/90nm/65nm等製程節點。

(校對/李正操)



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