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精彩“新一站”|攻克行業痛點 合肥欣奕華賦能智能製造

大尺寸Mini LED巨量轉移設備、AMOLED及硅基蒸鍍機、顯示面板OS檢測設備、顯示面板潔淨搬運機器人……這些極具行業競爭力的國際、國內首臺套重大技術裝備產品,均來自位於安徽省合肥市新站高新區的合肥欣奕華智能機器股份有限公司(下文簡稱“合肥欣奕華”)。

作為工業4.0時代我國先進的泛半導體智能製造整體解決方案供應商,合肥欣奕華自2013年成立至今,已相繼攻關了多項泛半導體行業重大難點技術,擁有超300項自主研發專利,多項核心技術達到國際先進水平,為我國新型顯示產業鏈“補鏈”“強鏈”發揮了重要作用。

在世界製造業大會上,合肥欣奕華作為安徽技術創新的代表之一,攜公司研發的國內首臺蒸鍍機產品受邀參展。該公司合肥區域總經理兼OLED事業部總經理曹景博介紹,公司最新研發的應用於鈣鈦礦領域的蒸鍍機已經交付客戶使用,而公司自2020年開始佈局的半導體AMHS系統開發,也於近期完成Demo開發並通過客戶技術規格認證。




核心裝備國產化 國內首臺補空白

蒸鍍機作為OLED顯示行業的“心房”,其作用是把顯示材料精準、均勻地蒸鍍到基板上形成發光膜層,是保障高精細度顯示產品順利量產的核心要素之一。而在2015年之前,該設備長期被國外壟斷,國內面板製造企業曾經為了購買這樣一臺機器,需要一次性拿出十幾億元(人民幣,下同)採購款項,且費盡周折才能買到。蒸鍍設備一機難求曾經是限制國內面板廠商擴大OLED產能的重要原因。

為了解決行業痛點,2015年,合肥欣奕華開始佈局蒸鍍設備研發。“蒸鍍機研發過程中,包括控制蒸鍍薄膜的均勻性、控制高精密對位系統以及保持腔體的高真空度等很多方面都是研發難點。”曹景博介紹,團隊經過三年的攻關,才在2017年推出了第一代G1 OLED蒸鍍及封裝系統設備,為我國在這一裝備技術領域實現了突破,填補了國內顯示行業上游核心設備的缺失。然而G1 OLED蒸鍍機的很多核心零部件、配套元件都是國外進口,要想真正提升國產蒸鍍機在行業內的競爭力,避免因貿易環境帶來的核心部件的封鎖等風險,提高蒸鍍機設備的國產化率必不可少。

“以蒸鍍機真空腔體的部件加工為例,蒸鍍機要求其真空腔體要達到10^(-5)Pa,同時為了保證OLED器件性能,其表面的離子濃度要控制在PPB級別(濃度單位),要求非常高,但是我們在國內找了很多供應商,都達不到這樣的標準。”曹景博表示,此前公司是與韓國企業合作,後來在研發第二代G2.5 OLED蒸鍍機的過程中,公司主動向韓國供應商學習探討控制零部件表面離子濃度的工藝方法,學習國外先進的工藝流程,然後再與國內有潛力的供應鏈企業一同研發這項技術。

“我們最後花了一年多時間的研發,終於同國內供應商實現了零部件表面離子濃度參數的標準。”曹景博認為,對於起步較晚的國內半導體行業來說,通過學習國外先進的技術,整合產業鏈企業攜手共同發展,國內的產業鏈企業才能不斷提高競爭力。


研發投入達8% 建國際團隊促研發

此前,合肥欣奕華就曾遇到進口設備核心零部件斷供的問題,嚴重影響了公司設備的按期交付。曹景博認為,只有掌握核心技術才有話語權,因此國內產業鏈企業提前佈局創新研發是必不可少的。合肥欣奕華在研發投入方面,近年來一直持續增加,目前每年的研發投入已佔銷售收入比重的8%左右。與此同時,合肥欣奕華打造泛半導體裝備校企聯合實驗室,與中國科學院、北京航空航天大學、北京理工大學、清華大學、西安交通大學、哈爾濱工業大學等高校合作,建立先進技術研究院和產品研發所等。

目前,合肥欣奕華已主持和參與國家重點研發計劃項目2項,承擔國家電子信息產業振興和技術改造專項2項,牽頭編制工業機器人行業標準1項。同時,更有5項產品通過了安徽省首臺套重大技術裝備認定。對於合肥欣奕華來說,自主知識產權構築的強有力核心技術是企業發展的最重要護城河。

曹景博介紹,合肥欣奕華的600名員工中,研發人員佔比達70%,公司擁有30多名海外專家,核心團隊有超過平均10年的泛半導體領域行業經驗,憑藉先進的技術,以及不斷創新的能力,合肥欣奕華已成為智能製造領域重要的賦能者。


提升產業鏈議價權 售後維保降成本

自2015年佈局蒸鍍機設備至今,合肥欣奕華已先後在該設備研發上投入數億元。2018年、2019年,合肥欣奕華相繼研製推出第二代G2.5 OLED蒸鍍機以及G8.5 OLED蒸發源系統,順利導入客戶量產。2021年,該公司自主研發的國內首臺硅基蒸鍍機成功導入客戶量產線並完成全綵點亮。今年,最新研發的應用於鈣鈦礦領域的真空鍍膜機也交付客戶使用,而針對平板顯示最新的8.5高世代線的蒸鍍機設備,該公司已開始佈局研發。

隨著合肥欣奕華在蒸鍍機設備領域研發的不斷突破,不僅解決了國內部分企業對低世代線蒸鍍機設備的使用需求,更助力產業鏈企業在諸多方面降低成本。與此同時,合肥欣奕華還具備了為採購國外設備的企業進行售後維修保養的能力。對於半導體設備來說,邀請國外工程師進行售後維保是一項很大的開支,合肥欣奕華可以進一步為相關企業降低設備維保成本。


紮根平板顯示集聚區 凝聚合力共成長

京東方、維信諾、翰博高新等一批位於新站高新區的半導體產業鏈企業,如今都是合肥欣奕華的客戶。在2013年選址新站高新區時,合肥欣奕華就認準了這裡打造平板顯示產業集聚區的規劃前景。近年來,新站高新區加快建設國家級新型顯示產業集聚區,招引了很多顯示產業上下游優質項目,配套能力越來越強,顯示產業佈局亦越來越充實,基本上形成了從“沙子”到“整機”的顯示產業全鏈條。離客戶最近,離產業鏈最近,給合肥欣奕華的發展帶來了更多商機。

曹景博介紹,新站高新區目前匯聚新型顯示產業上下游企業95家,約佔合肥市123家的77%,2021年新型顯示產業總產值同比增長超20%,這與合肥欣奕華聚焦新型顯示與半導體高端裝備、工業機器人和智能工廠解決方案的發展方向,高度契合。企業的發展也離不開新站區產業集群的助力,產業鏈的不斷健全,促進了企業供應體系的完善,讓公司不僅上游供應更有保障、成本更低,還利於與下游企業協同攻關,推動了企業市場開拓,並提高對下游企業的服務質量。

在此基礎上,合肥欣奕華亦享受到了新站高新區賦能創優營商環境推出的多項優惠政策,其中,公司享受到的新產品研發及產業化項目的政府專項資金扶持和稅收返還政策,平均每年都超過1000萬元。曹景博表示,這些政策的享受對於合肥欣奕華持續開展新產品研發,持續加大研發投入起到了關鍵作用,更為該公司後來順利推出多款國內首臺套重大技術裝備產品奠定了基礎。



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